equipment 設備一覧 (株) 東京精密 製 三次元座標測定機 SVA NEX9/6/6 最大許容長さ測定誤差1.8+4L/1000μm(E0.MPE)2.3+4L/1000μm(E150.MPE)繰り返し精度1.5μm(R0.MPL)最大許容シングルスタイラス形状誤差2.0μm(PFTU MPE)X軸(mm)850Z軸(mm)600 高精度・高速でのスキャニング測定を実現するアクティブスキャニングセンサ VAST XT gold搭載 一覧に戻る